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行业新闻2025-02-12

氢水在半导体清洗中的优势

技术背景

氢水是一种新兴的清洗技术,其主要特点是通过氢气溶解在超纯水中,形成高活性的清洗液。



主要优势

1. 去污能力强:氢水具有较高的活性,能够有效去除晶圆表面的颗粒污染物。

2. 降低化学腐蚀:与传统清洗剂相比,氢水的腐蚀性更低,不会影响芯片的电学性能。

3. 减少化学品需求:无需使用强酸强碱,减少对环境的污染。




行业应用

目前,氢水清洗技术在日本和韩国的半导体制造行业中已开始应用,并被认为是未来高端晶圆清洗的重要方向。

#东蓝电子清洗剂